国产MEMS碱金属原子气室是量子传感与精密测量领域的核心器件，采用微机电系统 (MEMS)工艺集成高纯度碱金属于微型密封腔体内，结合抗弛豫镀层工艺，显著提升原子自旋相干时间。该产品具有体积小、稳定性高等特点，兼容激光泵浦与磁共振探测，为原子磁力计、量子陀螺仪、原子钟等高端设备提供关键支撑。
MEMS原子气室
产品名称：MEMS 原子气室
产品参数
| 名称 | 参数 | 名称 | 参数 |
| 产品类别 | MEMS原子气室 | 最小尺寸 | ≥2mm(可定制) |
| 气压 | 0-1000torr | 碱金属 | 铯、铷 |
| 名称 | 参数 |
| 产品类别 | MEMS原子气室 |
| 气压 | 0-1000torr |
| 最小尺寸 | ≥2mm(可定制) |
| 碱金属 | 铯、铷 |
