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MEMS原子气室
2024/9/20
国产MEMS 碱金属原子气室是量子传感与精密测量领域的核心器件，采用微机电系统 (MEMS) 工艺集成高纯 度碱金属于微型密封腔体内，结合抗弛豫镀层工艺，显著提升原子自旋相干时间。该产品具有体积小 (1-4mm) 、 功耗低、稳定性高等特点，兼容激光泵浦与磁共振探测，为原子磁力计、量子陀螺仪、原子钟等高 端设备提供关键支撑。
产品名称：MEMS 原子气室；
具体参数
名称
参数
名称
参数
产品名称
MEMS原子气室
最小尺寸
4mm*4mm*4mm(可定制)
气压
0-760torr
碱金属
铷、铯、铷
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